等離子廢氣處理設備主要由高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開有害氣體分子的化學能,使之分解為單質原子或無害分子;等離子體中包含大量的高能電子,正負離子,激發態粒子和具有強氧化性的自由基,它使活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合,在電場作用下,使臭氣分子處于激發狀態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合時,臭氣分子的化學鍵斷裂,直接分解成單質原子構成無害氣體分子。同時產生的大量OH,O等活性基和氣體性很強的O,與有害氣體分子發生化學反應,生成無害產物。
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